[发明专利]光阻剥离组合物和剥离方法,平板、平板显示器及其制法有效

专利信息
申请号: 201510124654.X 申请日: 2015-03-20
公开(公告)号: CN104932210B 公开(公告)日: 2019-11-01
发明(设计)人: 高京俊;金正铉;李喻珍;金圣植 申请(专利权)人: 东友精细化工有限公司
主分类号: G03F7/42 分类号: G03F7/42;G03F7/00
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 韩国全*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 本申请公开了一种包含噁唑烷‑5‑基甲胺或六氢嘧啶‑5‑醇的光阻剥离组合物,使用该光阻剥离组合物剥离光阻的方法,用于显示器的平板及其制造方法,以及平板显示器及其制造方法。
搜索关键词: 剥离 组合 方法 平板 显示器 及其 制法
【主权项】:
1.一种光阻剥离组合物,包含:基于所述组合物的总量,0.1wt%至30wt%的由下面的化学式1所示的噁唑烷‑5‑基甲胺或由下面的化学式2所示的六氢嘧啶‑5‑醇;以及70wt%至99.9wt%的极性有机溶剂[化学式1][化学式2]
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