[发明专利]液晶显示面板、阵列基板及其薄膜晶体管的制造方法

摘要

本发明提供一种液晶显示面板、阵列基板及其薄膜晶体管的制造方法。所述制造方法包括：提供基体；在基体上形成第一金属层，第一金属层包括依次层叠的铝金属层、氧化铝层及钼金属层；对第一金属层进行图案化以形成栅电极；在栅电极上依序形成栅绝缘层、半导体层及欧姆接触层；在欧姆接触层上形成第二金属层；对第二金属层进行图案化以形成源电极和漏电极。本发明能够抑制铝金属层在高温环境下发生变形产生的凸起，避免薄膜晶体管的栅电极与源电极、漏电极之间发生短路，确保液晶显示面板的画面显示质量。

主权项

1.一种薄膜晶体管的制造方法，其特征在于，所述方法包括：提供一基体；在所述基体上形成第一金属层，其中所述第一金属层包括依次层叠的铝金属层、氧化铝层及钼金属层；对所述第一金属层进行图案化以形成所述薄膜晶体管的栅电极；在所述栅电极上依序形成栅绝缘层、半导体层及欧姆接触层；在所述欧姆接触层上形成第二金属层；对所述第二金属层进行图案化以形成所述薄膜晶体管的源电极和漏电极，其中，所述第二金属层也包括依次层叠的所述铝金属层、所述氧化铝层及所述钼金属层。