[发明专利]可加偏压式薄膜样品架在审
| 申请号： | 201510138693.5 | 申请日： | 2015-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN104694900A | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 刘艳松;何智兵;王涛;许华;陈志梅;李玉红 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种可加偏压式薄膜样品架，能够方便磁控溅射镀膜机样品架加载正负偏压又可以转动样品。本发明的可加偏压式薄膜样品架，包括托架、托架底座、金属轴承、连接杆和真空室底座。利用轴承的特性，把金属轴承的内圈固定在托架连接杆上，同时外圈引出电极，通过连接杆将真空室底座与托架底座之间隔开。这样，解决了旋转托架架和电极连接的难题，也实现了电极和机壳的绝缘问题。本发明既能够使托架旋转，同时又能够对托架施加持续偏压，结构简单，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 偏压 薄膜 样品 | ||
【主权项】：
可加偏压式薄膜样品架，其特征在于，所述的样品架包括托架（1）、托架底座（2）、金属轴承（3）、连接杆（4）和真空室底座（5）；其连接关系是，所述托架（1）固定连接在托架底座（2）上，所述的连接杆（4）设置在托架底座（2）的下方，连接杆（4）的一端与托架（1）固定连接，另一端与真空室底座（5）固定连接；所述的金属轴承（3）内圈固定在连接杆（4）上、外圈与电缆线连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心;，未经中国工程物理研究院激光聚变研究中心;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510138693.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
