[发明专利]一种基板及其制作方法、显示面板的制作方法

摘要

本发明涉及显示技术领域，公开了一种基板及其制作方法、显示面板的制作方法。所述基板的制作方法包括：利用已有的掩膜板进行图形化，来形成基板上的对位标记，满足了对位标记的微米级精度要求；利用扫描设备进行图形化，来形成基板上的遮光图形，满足了遮光图形的毫米级精度要求。由于不需要专门定制掩膜板，大大降低了所述基板(具体为掩膜板)的制作成本，进一步降低了利用所述基板进行图形化的显示基板的制作成本。而且对位标记图形和遮光图形通过单独的工艺形成，适用于不同尺寸尤其是大尺寸基板的制作，具有较高的通用性。

主权项

一种基板的制作方法，包括形成对位标记和第一遮光图形的步骤，其特征在于，形成对位标记的步骤包括：提供一衬底基板和一掩膜板，所述掩膜板包括所述对位标记的图形；在所述衬底基板上形成第一不透光薄膜，所述第一不透光薄膜为非光敏材料；利用所述掩膜板对所述第一不透光薄膜进行图形化，将所述掩膜板上的对位标记图形复制到第一不透光薄膜上。形成第一遮光图形的步骤包括：在所述衬底基板上形成第二不透光薄膜，所述第二不透光薄膜为非光敏材料；利用扫描设备对所述第二不透光薄膜进行图形化，形成所述第一遮光图形。