[发明专利]用于形成互连的方法

摘要

包括沟槽(110)和(186)和过孔(202)的导电互连是通过在工件之上施加介电膜堆叠(120)，且之后在膜堆叠之上施加光刻胶(140)而形成在工件(100)中。沟槽(142)在光刻胶中被图案化，其中所述沟槽处于彼此端对端设置的区段中。区段在将要安置过孔(202)的位置处彼此纵向地间隔开。沟槽被蚀刻到介电膜堆叠中，且随后用导电材料填充以形成金属线段(186)。过孔(192)在分离纵向相关的线(186)的相邻端的间隙中被图案化。图案化的过孔被蚀刻且然后用导电材料填充，其中相邻线段(186)的端部用于在沿着沟槽长度的方向上准确地定位过孔。

主权项

一种在工件中形成由金属化线和过孔组成的互连的方法，所述方法包括：(a)在工件中形成金属线，其中所述金属线设置在纵向间隔开的线段中，所述线段彼此端对端地间隔开；和(b)在工件中形成过孔，其中第一形成的金属线的至少一端限制第二形成的过孔的一个截面尺寸，或其中第一形成的过孔的至少一端限制第二形成的金属线的一个截面尺寸。