[发明专利]用于关联原子分辨率层析成像分析的可延展薄片的制作有效
| 申请号： | 201510161299.3 | 申请日： | 2015-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN104897696B | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | R·阿尔维斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/044 | 分类号： | G01N23/044;G01N1/28 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;刘春元 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种形成样品并执行关联S/TEM和APM分析的方法，其中包含感兴趣区域的样品从大块样品材料切下并形成超薄薄片。然后利用S/TEM分析所述薄片以形成图像。然后薄片样品和载片可以经过清洁过程以移除任何污染物。然后将包含ROI的薄片嵌入选定材料中并形成针形样品。然后利用APM分析所述针形样品，并将所得数据与S/TEM数据合并和相关联。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 关联 原子 分辨率 层析 成像 分析 延展 薄片 制作 | ||
【主权项】：
一种分析样品的方法，包括：使用聚焦离子束，形成厚度小于200nm且包括感兴趣区域的薄片；使用透射电子显微术形成感兴趣区域的图像；在使用透射电子显微镜形成感兴趣区域的图像后将材料沉积到所述薄片上；从所述薄片形成针形样品，所述针形样品包括感兴趣区域；和使用原子探针显微术形成感兴趣区域的图像。
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