[发明专利]脆性材料基板的搬送方法及搬送装置在审
| 申请号： | 201510178389.3 | 申请日： | 2015-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN105270889A | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 村上健二;武田真和;田村健太;音田健司;木下知子;秀岛护 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B65H3/08 | 分类号： | B65H3/08;B65H3/48 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种脆性材料基板的搬送方法及搬送装置，其课题在于在积层并保持基板的情况下，可以从基板保持部吸附并搬送仅一片基板。本发明的解决方法如下所述。在保持着基板(20)的基板保持部(15)的侧方，对应并邻接于基板的上升位置而配置喷嘴(23)。通过在搬送基板时从喷嘴(23)吹送经压缩的空气流，即便在重叠地搬送基板的情况下，也可以使下方的基板下落，而吸附并搬送仅上部的一片基板。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性 材料 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种脆性材料基板的搬送方法，其是搬送脆性材料基板的搬送方法，利用吸附垫吸引所述脆性材料基板，通过使所述吸附垫上升而使所吸附的脆性材料基板上升，在使所述吸附垫上升时从邻接于脆性材料基板的位置自喷嘴集中地喷出空气，通过使所述吸附垫移动而搬送所述脆性材料基板。
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