[发明专利]涂布机在审
申请号: | 201510187495.8 | 申请日: | 2015-04-20 |
公开(公告)号: | CN104808586A | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
发明(设计)人: | 喻绍明 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | G05B19/406 | 分类号: | G05B19/406;G01N21/88 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;黄灿 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种涂布机,包括第一机架及设置于第一机架上的涂布头,还包括:设置光学检测系统的第二机架,所述光学检测系统用于检测基板表面状况;驱动机构,与所述第二机架连接,用于在所述涂布头沿第一方向移动进行涂布的过程中,驱动所述第二机架在所述第一机架之后同时沿第一方向动作,所述光学检测系统对所述涂布头所涂布后的基板表面薄膜层进行检测。所述涂布机将设置光学检测系统的第二机架与设置涂布头的第一机架一起动作,在涂布过程中利用光学检测系统对涂布后的基板表面薄膜层进行质量检测,实现对涂布头涂布效果的实时监控,以及时发现不良情况,防止产生批量不良的基板。 | ||
搜索关键词: | 涂布机 | ||
【主权项】:
一种涂布机,包括第一机架及设置于第一机架上的涂布头,其特征在于,所述涂布机还包括:设置光学检测系统的第二机架,所述光学检测系统用于检测基板表面状况;驱动机构,与所述第二机架连接,用于在所述涂布头沿第一方向移动进行涂布的过程中,驱动所述第二机架在所述第一机架之后同时沿第一方向动作,所述光学检测系统对所述涂布头所涂布后的基板表面薄膜层进行检测。
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