[发明专利]辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉有效
| 申请号： | 201510203266.0 | 申请日： | 2015-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN104810309B | 公开（公告）日： | 2018-02-09 |
| 发明（设计）人： | 袁向东;许颖;袁瑒 | 申请（专利权）人： | 北京金晟阳光科技有限公司;莱芜金晟阳光精密设备有限公司;袁向东 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18;F27B9/02;F27B9/06;F27B9/24;F27B9/36 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司37212 | 代理人： | 马俊荣 |
| 地址： | 100102 北京市朝阳区北苑路*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉，可用于太阳电池的烧结和辐照退火处理，由上料区、烧结区、烧结冷却区、辐照退火区、退火冷却区和下料区组成，电池片在一组水平排列的辊道上传输，并依次经过上述各区，一次性完成太阳电池的烧结和辐照退火过程。本发明从根本上解决辐照退火工艺的规模化生产问题，从而最大限度地解决太阳电池在使用过程中的衰减问题。 | ||
| 搜索关键词： | 辊道式 太阳电池 烧结 辐照 退火 一体 连续 | ||
【主权项】：
一种辊道式太阳电池烧结和辐照退火一体连续炉，其特征在于：由上料区(1)、烧结区(2)、烧结冷却区(3)、辐照退火区(5)、退火冷却区(6)和下料区(7)组成，电池片(8)在一组水平排列的辊道(9)上传输，并依次经过上述各区，一次性完成太阳电池的烧结和辐照退火过程；在所述的辊道(9)的上方设置有光源(11)、在辊道(9)的下方设置有加热装置(10)，或者在辊道(9)的下方设置有光源(11)、在辊道(9)的上方设置有加热装置(10)，电池片(8)在传输过程中，其正面朝向光源(11)，其背面朝向加热装置(10)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
