[发明专利]柔性显示装置的制造方法

摘要

本发明提供一种柔性显示装置的制造方法，包括如下步骤：步骤1、提供柔性基板、及数个夹具；步骤2、用所述数个夹具夹住柔性基板的边缘；步骤3、对柔性基板进行曝光、显影、蚀刻、薄膜沉积、退火、成膜制程；各制程中，通过调整夹具，调整柔性基板的平整度及收缩量；通过调整夹具，来控制柔性基板的角度。本发明通过夹具夹紧柔性基板的边缘，在柔性基板发生形变挠曲时，可对夹具进行调整，减少柔性基板形变挠曲，可以精准控制制程精度，避免形变挠曲影响制程精度；不同制程，可调节柔性基板为水平、倾斜，垂直等方式放置，夹具可施加不同力量，以控制精度，减少基板形变；无需贴附、剥离等工艺。

主权项

1.一种柔性显示装置的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供柔性基板(10)、及数个夹具(20)；步骤2、用所述数个夹具(20)夹住柔性基板(10)的边缘；步骤3、对柔性基板(10)进行曝光、显影、蚀刻、退火、成膜制程；各制程中，通过调整夹具(20)，调整柔性基板(10)的平整度及收缩量；通过调整夹具(20)，来调整柔性基板(10)的角度；步骤3中，在进行曝光制程时，通过调整夹具(20)，来微调柔性基板(10)的形状，以控制曝光精度；步骤3中，在进行退火制程时，减小夹具(20)对柔性基板(10)的作用力，以减小柔性基板(10)的形变；步骤3中，在进行曝光制程时，通过调整夹具(20)，使柔性基板(10)保持水平；步骤3中，在进行显影、蚀刻制程时，通过调整夹具(20)，使柔性基板(10)细微倾斜；步骤3中，在成膜制程时，通过调整夹具(20)，使柔性基板(10)处于垂直状态。