[发明专利]致动器装置、电子设备、以及控制方法有效
| 申请号： | 201510205381.1 | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN105045292B | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 广久保望 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 田喜庆;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够以简单的构成高精度地实施使用静电致动器的间隙控制的致动器装置、电子设备、以及控制方法。光学模块(10)具备彼此相对的一对基板(51、52)、使一对基板(51、52)间的间隙尺寸变化的多个偏压致动器(57)、检测间隙尺寸的电容检测器(152)、以及基于电容检测器(152)所检测出的间隙尺寸控制偏压致动器(57)的驱动的电压控制部(15)，偏压致动器(57)相对于驱动中心轴呈非对称，并且能够分别独立地驱动，电压控制部(15)基于依次切换偏压致动器(57)而使其驱动时的电压和间隙尺寸，导出用于驱动偏压致动器(57)的驱动参数。 | ||
| 搜索关键词： | 致动器 装置 电子设备 以及 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种致动器装置，其特征在于，具备：彼此相对的一对基板；使所述一对基板间的间隙尺寸变化的多个静电致动器；检测所述间隙尺寸的间隙检测部；以及控制所述多个静电致动器各自的驱动的驱动控制单元，所述多个静电致动器分别能够独立地驱动，所述驱动控制单元基于对所述多个静电致动器各自施加的电压和由所述间隙检测部检测出的所述间隙尺寸，导出用于驱动所述多个静电致动器中的各静电致动器的驱动参数。
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