[发明专利]涡轮分子泵有效
| 申请号： | 201510209327.4 | 申请日： | 2015-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN105275836B | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 筒井慎吾;坪川彻也 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D25/06 | 分类号： | F04D25/06 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019 | 代理人： | 寿宁,张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种涡轮分子泵。涡轮分子泵(1)包括泵转子(10)，具有动叶片(12)及转子圆筒部(13)；静叶片(21)，与动叶片(12)相向；圆筒状定子(22)，与转子圆筒部(13)相向；基座(20)，收容圆筒状定子(22)；以及定子加热部(28)，对圆筒状定子(22)进行加热。圆筒状定子(22)的外表面(S3)的放射率、以及与圆筒状定子(22)相向的周边构件即转子圆筒部(13)、基座(20)、动叶片(12)及静叶片(21)的外表面且为与圆筒状定子(22)相向的外表面(S4、S7、S5、S6)的放射率小于动叶片(12)的外表面且为与静叶片(21)相向的外表面(S1)的放射率。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
【主权项】：
一种涡轮分子泵，包括：泵转子，具有动叶片及转子圆筒部；静叶片，与所述动叶片相向；圆筒状定子，与所述转子圆筒部相向；以及基座，收容所述圆筒状定子；所述涡轮分子泵的特征在于还包括：加热部，对所述圆筒状定子进行加热；且所述圆筒状定子的外表面的放射率、以及与所述圆筒状定子相向的构件的外表面且为与所述圆筒状定子相向的外表面的放射率小于所述动叶片的外表面且为与所述静叶片相向的外表面的放射率。
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