[发明专利]树脂层的去除方法有效
申请号: | 201510220079.3 | 申请日: | 2015-04-30 |
公开(公告)号: | CN105032874B | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
发明(设计)人: | 照井弘敏;石川智章;横山哲史;山内优 | 申请(专利权)人: | AGC株式会社 |
主分类号: | B08B11/04 | 分类号: | B08B11/04 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种树脂层的去除方法,其去除配置在玻璃基板上的树脂层,具有如下工序:使碱浓度为15质量%以上且含有3质量%以上式(1)所示的化合物的碱水溶液与树脂层接触,去除树脂层,RO‑(LO)n‑H式(1)式(1)中,R表示烷基,L表示亚烷基,n表示1以上的整数。 | ||
搜索关键词: | 树脂 去除 方法 | ||
【主权项】:
1.一种树脂层的去除方法,其去除配置在玻璃基板上的树脂层,所述树脂层为有机硅树脂层,具有如下工序:使碱浓度为15质量%以上且含有3质量%以上式(1)所示的化合物的碱水溶液与所述树脂层接触,去除所述树脂层,RO‑(LO)n‑H 式(1)式(1)中,R表示烷基,L表示三亚甲基或亚丙基,n表示1以上的整数;所述碱水溶液中含有选自由氢氧化钠、氢氧化钾和氢氧化锂组成的组中的至少1种。
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