[发明专利]一种EUV反射镜清洗装置有效
| 申请号： | 201510229051.6 | 申请日： | 2015-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN104874569B | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 彭忠琦;卢启鹏;龚学鹏;王依;宋源 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130000 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种EUV反射镜清洗装置，其包括H0原子发生装置（1）和真空腔室（2），在所述H0原子发生装置（1）和所述真空腔室（2）之间依次设置有相互连通的球阀（3）和导向喷射池（4）；该清洗装置相比现有的清洗装置，增设了用于H0原子浓度调节的球阀（3）和用于H0原子导向的导向喷射池（4），具有结构简单，设计合理，使用方便，H0原子喷射浓度可调，光学元件清洗效果好，清洗效率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 euv 反射 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种EUV反射镜清洗装置，其包括H0原子发生装置（1）和真空腔室（2），其特征在于：在所述H0原子发生装置（1）和所述真空腔室（2）之间依次设置有相互连通的球阀（3）和导向喷射池（4）；所述导向喷射池（4）包括：导向管路（41），其包括连接端（411）和自由端（412），所述连接端（411）与所述球阀（3）连接，所述自由端（412）插设于所述真空腔室（2）内部；连接套（42），其套装于所述导向管路（41）外部，且所述连接套（42）一端与所述导向管路（41）的连接端（411）固定连接，另一端与所述真空腔室（2）密封连接； 所述导向管路（41）的自由端（412）设置有沿其径向方向延伸的反射板（4121）； 所述导向管路（41）、所述反射板（4121）以及所述球阀（3）均由石英制成。
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