[发明专利]压印装置及物品制造方法无效
申请号: | 201510242920.9 | 申请日: | 2015-05-13 |
公开(公告)号: | CN105093822A | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 宫岛义一;川原信途 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;H01L21/027;B29C43/36;B29C59/02 |
代理公司: | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人: | 迟军 |
地址: | 日本东京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种压印装置及物品制造方法。该压印装置包括:基板保持部,其被构造成保持所述基板,其中,所述基板保持部包括在预定方向上布置的多个保持区域,并且其中,所述多个保持区域的形状被限定为能够以第一外径保持第一基板,并且能够以与所述第一外径不同的第二外径保持第二基板。 | ||
搜索关键词: | 压印 装置 物品 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种压印装置,其通过使涂布在基板上的树脂与模具接触来在所述基板上形成图案,所述压印装置包括:基板保持部,其被构造成保持所述基板,其中,所述基板保持部包括在预定方向上布置的多个保持区域,并且其中,所述多个保持区域的形状被限定为能够以第一外径保持第一基板,并且能够以与所述第一外径不同的第二外径保持第二基板。
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