[发明专利]压印装置及物品制造方法无效

专利信息
申请号: 201510242920.9 申请日: 2015-05-13
公开(公告)号: CN105093822A 公开(公告)日: 2015-11-25
发明(设计)人: 宫岛义一;川原信途 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00;H01L21/027;B29C43/36;B29C59/02
代理公司: 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 代理人: 迟军
地址: 日本东京都*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种压印装置及物品制造方法。该压印装置包括:基板保持部,其被构造成保持所述基板,其中,所述基板保持部包括在预定方向上布置的多个保持区域,并且其中,所述多个保持区域的形状被限定为能够以第一外径保持第一基板,并且能够以与所述第一外径不同的第二外径保持第二基板。
搜索关键词: 压印 装置 物品 制造 方法
【主权项】:
一种压印装置,其通过使涂布在基板上的树脂与模具接触来在所述基板上形成图案,所述压印装置包括:基板保持部,其被构造成保持所述基板,其中,所述基板保持部包括在预定方向上布置的多个保持区域,并且其中,所述多个保持区域的形状被限定为能够以第一外径保持第一基板,并且能够以与所述第一外径不同的第二外径保持第二基板。
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