[发明专利]流量传感器的检查方法和检查系统在审
| 申请号： | 201510245823.5 | 申请日： | 2015-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN105157793A | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 安田忠弘;白井隆 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 王玉玲;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种流量传感器的检查系统，其能够对应检查对象的流量传感器向流道内充以适当的压力，并且大幅缩短至检查开始为止的等待时间。所述流量传感器的检查系统包括：针对在设置有所述检查对象的流量传感器的、上游侧流道的下游中分路的多个分路流道分别设置的流阻；针对所述各分路流道分别设置的阀门；流体传感器，至少一部分与所述各流阻相比设置在靠上游侧，测定流体的压力或流量；以及阀门开闭控制部，在检查所述检查对象的流量传感器时，将所述各阀门设为多个敞开的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 流量传感器 检查 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种流量传感器的检查方法，用于检查从检查对象的流量传感器输出的测定流量值的时间延迟，所述检查对象的流量传感器设置在具备上游侧流道和在所述上游侧流道的下游中分路的多个分路流道的流道结构中，所述流量传感器的检查方法的特征在于，采用针对所述各分路流道分别设置的流阻、针对所述各分路流道分别设置的阀门，以及测定所述流道结构中的流体的压力或流量的流体传感器，并具备阀门控制步骤，在根据所述流体传感器的输出来检查所述检查对象的流量传感器时，将所述各阀门设为多个敞开的状态。
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