[发明专利]提纯三氯氢硅的方法有效
申请号: | 201510247059.5 | 申请日: | 2015-05-15 |
公开(公告)号: | CN104828827B | 公开(公告)日: | 2017-03-08 |
发明(设计)人: | 姚国华;张艳春;李锋;王洪光;白竟超;彭述才 | 申请(专利权)人: | 国电内蒙古晶阳能源有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人: | 李志东 |
地址: | 010321 内蒙古自治*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明提出了一种提纯三氯氢硅的方法,包括将三氯氢硅进行冷却处理,以便得到冷却的三氯氢硅;将冷却的三氯氢硅在吸附塔内进行吸附处理,以便吸附硼和磷并得到精制三氯氢硅,其中,吸附塔内填充有弱碱性聚合树脂。利用该方法可以同时除去三氯氢硅中的微量硼磷杂质,提高三氯氢硅质量,该方法简单易行、成本低、除杂效果良好。 | ||
搜索关键词: | 提纯 三氯氢硅 方法 | ||
【主权项】:
一种提纯三氯氢硅的方法,其特征在于,包括:将所述三氯氢硅进行冷却处理,以便得到冷却的三氯氢硅;将所述冷却的三氯氢硅在吸附塔内进行吸附处理,以便吸附硼和磷并得到精制三氯氢硅,其中,吸附塔内填充有弱碱性聚合树脂,所述吸附处理的压力为0.25~0.4MPa,温度为不大于35摄氏度,所述吸附处理的流速为2.3~3.45吨每小时。
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