[发明专利]镀膜装置在审
| 申请号： | 201510250366.9 | 申请日： | 2015-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN104947049A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 吴孝哲 | 申请（专利权）人： | 宁波时代全芯科技有限公司;英属维京群岛商时代全芯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 315195 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种镀膜装置，包含镀膜腔室、载台、多个高频振动元件以及至少一控制单元。载台配置于镀膜腔室内，且载台用以盛放基材。多个高频振动元件配置于载台内，其中高频振动元件的振动频率大于20千赫(kHz)。控制单元电性连接至少一个高频振动元件，且控制单元用以控制至少一个高频振动元件的振动频率、振动波形与振动大小，以改善基材的镀膜的均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种镀膜装置，其特征在于，用以在一基材上进行镀膜，该镀膜装置包含：一镀膜腔室；一载台，配置于该镀膜腔室内，该载台用以盛放该基材；多个高频振动元件，配置于该载台内，其中所述高频振动元件的振动频率大于20千赫；以及至少一控制单元，电性连接至少一个所述高频振动元件，该控制单元用以控制至少一个所述高频振动元件的振动频率、振动波形与振动大小。
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