[发明专利]基板修复装置及修复方法有效
| 申请号： | 201510254175.X | 申请日： | 2015-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN104880841B | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 胡瑾;节昌凯;孟祥明;李坤 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 朱亲林 |
| 地址： | 230012 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基板修复装置及修复方法，所述装置包括激光发射器和成像单元，所述激光发射器位于所述基板一侧，所述激光发射器在距所述基板表面预设高度发射与所述基板表面平行的用于检测所述基板的突起缺陷的第一激光，并发射用于修复需要修复的突起缺陷的第二激光；所述成像单元用于对所述基板成像，当检测到有突起缺陷将所述第一激光散射时判定该突起缺陷为需要修复的突起缺陷。本发明通过使用低能量的激光对突起缺陷进行检测，并利用高能量的激光进行修复，能够高效地修复基板的突起缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 突起缺陷 修复 基板 激光发射器 激光 成像单元 基板表面 基板修复 检测 激光散射 发射 低能量 高能量 预设 成像 判定 平行 | ||
【主权项】：
1.一种基板修复装置，其特征在于，所述装置包括激光发射器和成像单元，所述激光发射器位于所述基板一侧，所述激光发射器在距所述基板表面预设高度发射与所述基板表面平行的用于检测所述基板的突起缺陷的第一激光，并发射用于修复需要修复的突起缺陷的第二激光；所述成像单元用于对所述基板成像，用于检测是否有突起缺陷将所述第一激光散射以判定该突起缺陷是否为需要修复的突起缺陷；所述第一激光的波长比所述第二激光的波长长；所述装置还包括控制单元，所述控制单元存储有预先测得的所述基板表面的突起缺陷的位置数据，并根据所述位置数据控制所述激光发射器依次向每个所述突起缺陷所在位置处发射所述第一激光，控制所述成像单元对所述突起缺陷所在位置处成像，以及根据所述成像单元在所述突起缺陷所在位置处的成像判定该突起缺陷是否需要修复，并控制所述激光发射器向所述需要修复的突缺陷位置处发射所述第二激光。
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