[发明专利]基板、掩膜板及显示装置、对位方法有效
申请号: | 201510263356.9 | 申请日: | 2015-05-21 |
公开(公告)号: | CN104808434B | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 张鹏飞;骆意勇 | 申请(专利权)人: | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G03F1/42 | 分类号: | G03F1/42;G02F1/1335 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 230012 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种基板、掩膜板及显示装置、对位方法,涉及显示领域,能够减少构图设备在工作过程中发生对位出错的概率,从而提高设备的嫁动率。本发明提供一种对位方法,适用于利用同一掩膜板在同一基板上形成图形相同但不相重合的第一膜层和第二膜层,包括:当制作第一膜层时,将第一公用标记与第二公用标记对准完成掩膜板与基板对位,第一公用标记设置在基板上,第二公用标记设置在掩膜板上,与第一公用标记相对应;当制作第二膜层时,先将第一公用标记与第二公用标记对准,然后利用构图设备的偏差补正功能实现第二膜层与第一膜层的图形偏差,完成掩膜板与基板对位。本发明用于改进基板上对位标记的设计。 | ||
搜索关键词: | 基板 掩膜板 显示装置 对位 方法 | ||
【主权项】:
1.一种对位方法,适用于利用同一掩膜板在同一基板上形成图形相同但不相重合的第一膜层和第二膜层,其特征在于,包括:当制作第一膜层时,将第一公用标记与第二公用标记对准完成所述掩膜板与所述基板对位,所述第一公用标记设置在所述基板上,所述第二公用标记设置在所述掩膜板上,与所述第一公用标记相对应;当制作第二膜层时,先将所述第一公用标记与所述第二公用标记对准,然后利用构图设备的偏差补正功能实现所述第二膜层与所述第一膜层的图形偏差,完成所述掩膜板与所述基板对位。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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