[发明专利]硅片传输系统有效
| 申请号： | 201510270081.1 | 申请日： | 2015-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN106292194B | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;胡松立;姜杰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片传输系统，包括双臂机械手、上片直线手和下片直线手；其中，所述双臂机械手从硅片存储装置中将待曝光的硅片取出并移送到预对准装置上，并从缓存台将曝光完成的硅片取下放回硅片存储装置中；上片直线手用于将预对准后的硅片移动至工件台，下片直线手将曝光完成后的硅片移动至缓存台。所述双臂机械手、上片直线手和下片直线手可以并行动作，达到节省硅片传输时间的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 传输 系统 | ||
【主权项】：
一种硅片传输系统，其特征在于，包括：双臂机械手、上片直线手和下片直线手；其中，所述双臂机械手从硅片存储装置中将待曝光的硅片取出并移送到预对准装置上，并从缓存台将曝光完成的硅片取下放回硅片存储装置中；同时，上片直线手将预对准后的硅片移动至工件台，下片直线手将曝光完成后的硅片移动至缓存台。
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