[发明专利]用于涂敷工件的方法

摘要

公开了一种用于涂敷工件的方法。在各个实施例中，提供用于涂敷工件的方法。所述方法可以包括：对工件进行干燥，所述工件被涂敷有至少一个氧化物层作为最上层；在已干燥的工件的最上层上沉积介电层；其中，所述工件在干燥处理期间并且在沉积处理期间连续地经受比大气压力更低的压力。

主权项

1.一种用于涂敷工件的方法，所述方法包括：提供被涂覆有至少一个氧化物层作为最上层的工件；对所述工件进行干燥，其中在所述工件的干燥期间，并入在氧化物层中的湿气进行释气；在对所述工件进行干燥之后，利用真空夹盘卡夹已干燥的所述工件；在已干燥的所述工件的最上层上沉积介电层，其中已干燥的所述工件在沉积处理期间被利用真空夹盘保持到位；其中，所述工件在干燥处理期间、在卡夹处理期间并且在沉积处理期间连续地经受比大气压力更低的压力，其中对所述工件进行干燥包括对所述至少一个氧化物层进行干燥从而减少或释放所述工件的晶片翘曲。