[发明专利]基板检查装置以及基板检查方法

摘要

本发明提供能提升绝缘检查的检查精度的基板检查装置及基板检查方法。基板检查装置具备：低电压检查部(12)，其执行使布线图案对间产生电位差，基于在布线图案对间流过的电流来判定布线图案对间的绝缘良好与否的低电压绝缘检查；电阻测定部(13)，其执行电阻测定处理，测定在低电压绝缘检查中判定为绝缘不良的对的布线间的电阻值；和高电压检查部(14)，其执行使作为包含电阻测定处理中测定出的电阻值低于预先设定的基准值的对的一方的布线的其它对的布线且在低电压绝缘检查中判定为绝缘良好的对的布线间，产生大于该低电压绝缘检查中的电位差的电位差，基于在该对的布线间流过的电流来判定该对的布线间的绝缘良好与否的高电压绝缘检查。

主权项

1.一种基板检查装置，检查相互分开配置的3个以上的布线图案的相互间的绝缘，所述基板检查装置具备：低电压检查部，其执行低电压绝缘检查，在该低电压绝缘检查中，将所述3个以上的布线图案当中彼此相邻的2个布线图案作为一个布线图案对，使多个布线图案对的布线图案间分别产生电位差，基于在所述各布线图案对的布线图案间流过的电流来分别判定所述各布线图案对的布线图案间的绝缘良好与否；电阻测定部，其执行电阻测定处理，该电阻测定处理测定在所述低电压绝缘检查中判定为所述绝缘不良的布线图案对的布线图案间的电阻值；和高电压检查部，其执行高电压绝缘检查，在该高电压绝缘检查中，在包含所述电阻测定处理中测定出的电阻值低于预先设定的基准值的布线图案对中的一个布线图案的其它布线图案对的布线图案间、且在所述低电压绝缘检查中判定为所述绝缘良好的布线图案对的布线图案间，产生大于该低电压绝缘检查中的所述电位差的电位差，基于在该布线图案对的布线图案间流过的电流来判定该布线图案对的布线图案间的绝缘良好与否。