[发明专利]压印装置、压印方法及物品的制造方法

摘要

本发明提供一种压印装置、压印方法及物品的制造方法。该压印装置通过使用模具来使供给到基板的拍摄区域上的压印材料成型，所述压印装置包括：检测单元，其被构造为检测对所述拍摄区域设置的各个标志以及对所述模具设置的各个标志；以及控制单元，其被构造为基于所述检测单元的检测结果进行所述模具与所述基板之间的对准，其中，所述控制单元通过使用关于所述拍摄区域的变形的信息来获得对所述拍摄区域设置的标志的位置的预测值，将检测结果与预测值之差未落入容许范围的标志确定为异常标志，并且进行所述对准，而不使用针对所述异常标志的检测结果。

主权项

1.一种压印装置，其通过使用模具来使供给到基板的拍摄区域上的压印材料的图案成型，所述压印装置包括：/n检测单元，其被构造为检测对所述拍摄区域设置的多个基板侧标志的各个的位置以及对所述模具设置的多个模具侧标志的各个的位置；以及/n控制单元，其被构造为：/n基于与所述拍摄区域的变形有关的信息，来预测形成到所述拍摄区域的所述多个基板侧标志的各个的位置；/n使得所述检测单元检测所述多个基板侧标志的各个的位置；/n在所述多个基板侧标志当中，指定检测位置与预测位置之差未落入预先设置的容许范围内的基板侧标志；以及/n基于与所指定的基板侧标志不同的基板侧标志的所述检测位置，来进行所述模具与所述拍摄区域之间的对准。/n