[发明专利]一种基于水溶剂制备铜锌锡硫硒薄膜的方法

摘要

一种基于水溶剂制备铜锌锡硫硒薄膜的方法，属于太阳电池材料与器件技术领域。本发明采用化学浴工艺在镀有钼金属电极的衬底上依次沉积硫化亚锡、硫化铜以及硫化锌得到前驱薄膜，然后将前驱薄膜在硫/硒气氛下退火处理得到铜锌锡硫硒薄膜材料。本发明的优点在于：制备工艺简单、无需复杂设备、制备成本低、铜锌锡硫硒薄膜成分易控。

主权项

一种基于水溶剂制备铜锌锡硫硒薄膜的方法，其特征是包括以下步骤：(1)在清洗干净的镀有钼薄层的衬底上采用化学浴工艺沉积硫化亚锡薄膜，通过控制沉积时间控制硫化亚锡薄膜的厚度，沉积结束后用纯水清洗薄膜表面；(2)在硫化亚锡薄膜上采用化学浴工艺沉积硫化铜薄膜，通过控制沉积时间控制硫化铜薄膜的厚度，沉积结束后用纯水清洗薄膜表面；(3)在硫化铜薄膜上采用化学浴工艺沉积硫化锌薄膜，通过控制沉积时间控制硫化锌薄膜的厚度，沉积结束后用纯水清洗薄膜表面；(4)将经以上步骤制得的前驱薄膜在硫/硒气氛下退火处理得到铜锌锡硫硒薄膜。本步骤中的硫/硒气氛包括单质硫/硒蒸气、硫化氢气体或硒化氢气体。