[发明专利]制造复合补偿游丝的方法有效
| 申请号： | 201510294325.X | 申请日： | 2015-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN105182721B | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | T·黑塞勒 | 申请（专利权）人： | 斯沃奇集团研究和开发有限公司 |
| 主分类号： | G04B17/06 | 分类号： | G04B17/06 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所11247 | 代理人： | 吴鹏,马江立 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制造复合补偿游丝(31)的方法，所述复合补偿游丝包括由第一材料构成的第一厚度E1和由至少一种第二材料构成的至少一个第二厚度E2。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 复合 补偿 游丝 方法 | ||
【主权项】：
一种制造复合补偿游丝(31,41)的方法，包括如下步骤：a)取用由第一材料制成的第一晶片(1)；b)取用由至少一种第二材料制成的至少一个第二晶片(3,3')，所述第二材料的杨氏模量随温度的变化(TEC)与所述第一材料的杨氏模量随温度的变化(TEC)异号；c)将所述第一晶片(1)接合至所述至少一个第二晶片(3,3')以使得所述第一晶片和所述至少一个第二晶片彼此面对面地叠置，以形成衬底(2,2')；d)穿过所述衬底(2,2')刻蚀图案(4)以形成复合补偿游丝(31,41)，所述复合补偿游丝包括由所述第一材料构成的第一厚度(E1)和由所述至少一种第二材料构成的至少一个第二厚度(E2，E'2)；e)从所述衬底(2,2')释放所述复合补偿游丝(31,41)。
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