[发明专利]一种全自动蚀刻液回收装置在审
申请号: | 201510294829.1 | 申请日: | 2015-06-02 |
公开(公告)号: | CN104846377A | 公开(公告)日: | 2015-08-19 |
发明(设计)人: | 韦建敏;赵兴文;张晓蓓;张小波 | 申请(专利权)人: | 成都虹华环保科技股份有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C23F1/08 |
代理公司: | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人: | 袁英 |
地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明涉及一种全自动蚀刻液回收装置,它包括蚀刻机柜(1)、传送装置(3)、接液盘(4)、接液管(5)和回收池(6),传送装置(3)的上方设置有蚀刻液喷淋头(2),接液盘(4)固定安装在传送装置(3)的下方,接液管(5)的一端与接液盘(4)的底部相连,接液管(5)的另一端并联连接有第一支管(7)和第二支管(10),第一支管(7)的另一端和第二支管(10)的另一端分别与回收池(6)连通,第一支管(7)的管路上设置有第一阀门(9)和第一过滤器(8),第二支管(8)的管路上设置有第二阀门(12)和第二过滤器(11)。本发明的优点在于:自动化程度高、回收率高和可不间断地连续回收。 | ||
搜索关键词: | 一种 全自动 蚀刻 回收 装置 | ||
【主权项】:
一种全自动蚀刻液回收装置,其特征在于:它包括蚀刻机柜(1)、传送装置(3)、接液盘(4)、接液管(5)和回收池(6),所述的传送装置(3)横向穿过蚀刻机柜(1),传送装置(3)的上方设置有蚀刻液喷淋头(2),所述的接液盘(4)固定安装在传送装置(3)的下方,接液管(5)的一端与接液盘(4)的底部相连,接液管(5)的另一端并联连接有第一支管(7)和第二支管(10),第一支管(7)的另一端和第二支管(10)的另一端分别与回收池(6)连通,第一支管(7)的管路上设置有第一阀门(9)和第一过滤器(8),第二支管(8)的管路上设置有第二阀门(12)和第二过滤器(11)。
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