[发明专利]检查设备、检查方法和程序有效
申请号: | 201510313548.6 | 申请日: | 2015-06-09 |
公开(公告)号: | CN105184765B | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 真弓典正 | 申请(专利权)人: | 株式会社其恩斯 |
主分类号: | G06T7/00 | 分类号: | G06T7/00;G06T7/586;G01N21/88 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 李铭;陈源 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供了检查设备、检查方法和程序。光度处理部基于光度立体方法、根据由相机获取的多幅亮度图像来计算工件表面的法向向量,并且执行对倾斜图像和所述倾斜图像的至少一个缩小图像之中的至少两个图像进行合成的合成处理,以生成展示检查对象的表面形状的检查图像,该倾斜图像是由基于根据多幅亮度图像算出的法向向量的像素值构成的。具体地,特征尺寸设置部设置特征尺寸,该特征尺寸是用于在执行合成处理时向缩小图像的分量赋予权重的参数。光度处理部能够根据所设置的特征尺寸来生成不同的检查图像。 | ||
搜索关键词: | 检查 设备 方法 程序 | ||
【主权项】:
1.一种检查设备,包括:照明部,其用于根据光度立体方法来对检查对象进行照明;成像部,其用于接收来自被照明的检查对象的反射光,以根据所述光度立体方法生成亮度图像;计算部,其用于根据由所述成像部获取的多幅亮度图像来计算所述检查对象的表面的法向向量,生成由基于根据所述多幅亮度图像算出的法向向量的像素值构成的倾斜图像和所述倾斜图像的至少一幅缩小图像,并且执行对所述倾斜图像和所述至少一幅缩小图像之中的至少两个图像进行合成的合成处理,以生成展示所述检查对象的表面形状的检查图像;确定部,其用于通过使用所述检查图像来确定所述检查对象有无缺陷;以及设置部,其用于设置特征尺寸,所述特征尺寸是用于在执行所述合成处理时向所述缩小图像的分量赋予权重的参数,其中,所述计算部根据由所述设置部设置的所述特征尺寸来生成不同的检查图像。
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