[发明专利]光源装置和曝光装置在审
| 申请号： | 201510319338.8 | 申请日： | 2015-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN105319862A | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 竹田幸一郎;山本健;杉田健一;山崎恒男;姜承俊;大塚明;川崎裕生;比企达也;今井洋之 | 申请（专利权）人： | 株式会社阿迪泰克工程 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供光源装置，其使用不同波长的多个光源且不需要按照规定的排列严格配置光源。多个LD模块(1、2)分别具有1个LD和聚光透镜,射出不同波长的激光。各LD模块的LD由控制装置(99)控制其点亮、非点亮及输出(照度)。3个LD模块(1)和1个LD模块(2)的射出光输入第1光纤束部(b1),经由4条第1光纤(5)并通过第1连接器(6)聚集于1条第2光纤(7)。3条第2光纤被引导至第2光纤束部(b2),其出射端侧按照与对曝光头(18)内的DMD(56)的光照射区域形状对应的排列图案集束并与第3光纤(9)连接,经由第2连接器(10)与入射光学系统(40)连接,将激光引导至曝光装置(B)的曝光头(18)。 | ||
| 搜索关键词： | 光源 装置 曝光 | ||
【主权项】：
一种光源装置，其特征在于，所述光源装置具有：1个激光二极管，其射出具有规定的波长特性的激光；其他的激光二极管，其射出具有不同于所述规定的波长特性的其他波长特性的激光；多个第1光纤束，其具有：1条第1光纤，其在入射端入射来自所述1个激光二极管的射出光并在出射端射出；其他的第1光纤，其在入射端入射来自所述其他的激光二极管的射出光并在出射端射出；以及第2光纤，其聚集所述1条第1光纤和其他的第1光纤的射出光，该多个第1光纤束将所述1条第1光纤和所述其他的第1光纤的出射端侧按照规定的排列进行集束，聚集该1条第1光纤和其他的第1光纤的射出光并使其入射到所述第2光纤的入射端；第2光纤束，其具有聚集所述第2光纤的射出光的第3光纤，该第2光纤束将所述多个第1光纤束部的多个第2光纤的出射端侧按照规定的排列进行集束，聚集各第2光纤的射出光并使其入射到所述第3光纤的入射端；以及输出部，其连接于所述第3光纤的输出端，用于对外部进行输出。
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