[发明专利]一种真空蒸镀设备

摘要

本发明涉及蒸镀技术领域，公开一种真空蒸镀设备，包括壳体，壳体形成主真空腔和侧真空腔，侧真空腔内设有用于扫描待测量坩埚的断层检测模块、取放主真空腔内坩埚的机械手，设置于主真空腔和侧真空腔之间的开关组件，开关组件打开时连通主真空腔和侧真空腔进行坩埚取放和检测，关闭时隔离主真空腔和侧真空腔。上述真空蒸镀设备能够在不破坏主真空腔内真空度的前提下对坩埚进行在线检测，并且能够通过断层检测模块对坩埚进行检测以确定被检测的坩埚内是否存在微裂纹，对坩埚的检测精度较高。上述真空蒸镀设备能够使每一个坩埚的使用寿命得到最长的使用，延长实际生产中更换坩埚的时间间隔，减少了生产准备时间，进而降低了生产成本。

主权项

一种真空蒸镀设备，其特征在于，包括：壳体，所述壳体形成主真空腔和侧真空腔，所述侧真空腔内设有用于检测待测量坩埚的断层检测模块、取放主真空腔内坩埚的机械手；设置于所述主真空腔和侧真空腔之间的开关组件，所述开关组件打开时连通所述主真空腔和侧真空腔、关闭时隔离所述主真空腔和侧真空腔。