[发明专利]物理量传感器装置、高度计、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201510335211.5 | 申请日： | 2015-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN105300411A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 中岛敏 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01D3/028 | 分类号： | G01D3/028 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;许梅钰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够实施优良的温度补偿的物理量传感器装置、高度计、电子设备以及移动体。压力传感器装置(1)具有：压力传感器(1)，其具备隔膜(54)，所述隔膜(54)具有受压面(541)，且能够挠曲变形；温度传感器(411)，其以与隔膜(54)隔开间隔的方式而被配置于隔膜(54)的受压面(541)侧。此外，压力传感器(1)在隔膜(54)的与受压面(541)相反的面侧具有作为压力基准室的空洞部。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 装置 高度计 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器装置，其特征在于，具有：物理量传感器，其具备隔膜，所述隔膜具有受压面，并能够挠曲变形；温度传感器元件，其以与所述隔膜隔开间隔的方式而被配置于所述隔膜的所述受压面侧。
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