[发明专利]凹形间隔件晶圆孔洞及形成于其中的晶圆位准光学组件有效
| 申请号： | 201510338862.X | 申请日： | 2015-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN105182454B | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 爱德华·纳宾汉;艾伦·马丁 | 申请（专利权）人： | 豪威科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;H01L27/146 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种晶圆位准光学组件，及形成它们于其中的凹形间隔件晶圆孔洞。晶圆位准光学组件包含间隔件晶圆，其包含多个孔洞。各孔洞具有在间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状，及与该平面横剖面相交的溢流区。晶圆位准光学组件亦包含光学组件的数组，数组的各光学组件是由硬化的可流动材料形成于多个孔洞的个别的一者内。形成各光学组件的硬化的可流动材料的一部分扩展进入至多个孔洞的个别孔洞的溢流区内。间隔件晶圆包含多个孔洞，多个孔洞中的每个具有在间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状。多个孔洞中的每个包含与该平面横剖面相交的溢流区。 | ||
| 搜索关键词： | 凹形 间隔 圆孔 形成 中的 晶圆位准 光学 组件 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆位准光学组件，其包含：间隔件晶圆，形成有多个孔洞，所述多个孔洞中的每一个具有在所述间隔件晶圆的平面横剖面中的凹形形状，且包含与所述平面横剖面相交的溢流区；以及多个光学组件，所述多个光学组件中的每一个是由硬化的可流动材料形成于所述多个孔洞中的个别一个内并由薄膜包围，所述薄膜在其各自的孔洞中悬置光学组件；其中形成所述多个光学组件的所述硬化的可流动材料的一部分扩展进入至其各自孔洞的溢流区内；以及其中对于所述多个孔洞中的每一个，与所述孔洞的侧壁剖面正切的线与所述间隔件晶圆的平面表面形成斜角。
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