[发明专利]描绘装置有效
| 申请号： | 201510354272.6 | 申请日： | 2015-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN105388707B | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 山贺胜;清水修一 | 申请（专利权）人： | 株式会社ORC制作所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供描绘装置，该描绘装置具有：描绘台，其载置基板；曝光描绘部，其与上述描绘台相对地进行移动，将图案描绘在该描绘台上的基板上，在该描绘装置中，形成在基板上的对准标记的位置误差小且不会使基板的平面精度受损。描绘装置在上述描绘台上设有多个基准标记以及被确定了相对于上述各基准标记的位置的多个标记形成单元，上述多个基准标记用于设定相对于上述曝光描绘部的位置基准，上述多个标记形成单元将对准标记形成在载置于该描绘台上的基板的反面上。 | ||
| 搜索关键词： | 描绘 装置 | ||
【主权项】：
1.一种描绘装置，其具有：描绘台，其载置基板；以及曝光描绘部，其与上述描绘台相对地进行移动，将图案描绘在该描绘台上的基板上，上述描绘装置的特征在于，在上述描绘台上，设有多个基准标记以及被确定了相对于各上述基准标记的位置的多个标记形成单元，上述多个基准标记用于设定相对于上述曝光描绘部的位置基准，上述多个标记形成单元将对准标记形成在载置于该描绘台上的基板的反面上，所述基准标记与所述标记形成单元之间的位置关系在所述描绘台上是固定的。
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