[发明专利]一种显影装置及显影方法、曝光装置有效
| 申请号： | 201510358739.4 | 申请日： | 2015-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN104898381B | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 姚宇环 | 申请（专利权）人： | 上海天马有机发光显示技术有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201201 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显影装置，包括箱体和显影液，所述显影液盛放在所述箱体内，其特征在于，所述箱体包括内壁，所述内壁上设置有缓冲膜，所述缓冲膜能够调节所述显影液的浓度。该缓冲膜解决显影系统中光刻胶浓度不稳定对显影液显影能力的影响；并且能够减少显影液的使用量，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 装置 方法 曝光 | ||
【主权项】：
一种显影装置，包括箱体和显影液，所述显影液盛放在所述箱体内，其特征在于，所述箱体包括内壁，所述内壁上设置有缓冲膜，所述显影液包括光刻胶，所述缓冲膜能够调节所述显影液中光刻胶的浓度。
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