[发明专利]可配置的液态前体汽化器

摘要

本发明提供了一种可配置的液态前体汽化器，更具体提供了一种用于使液态前体汽化的改进的汽化器。所述汽化器可以包括具有较大的壁面积与横截面流动面积比的一个或多个通道并且可以配有一个或多个加热器元件，所述一个或多个加热器元件被构造成加热所述通道到所述前体的汽化温度以上。至少一些通道可以加热到在所述汽化温度以上，但在所述前体的莱顿弗罗斯特温度以下的温度。在一些实施方式中，可以在大致横贯前体流的方向上高速引入载气，从而将前体机械地剪切成液滴。如果需要，多个汽化器可以串联结合在一起以实现完全汽化。所述汽化器可以容易拆卸以进行清洁和维护。

主权项

一种汽化器，其包括：第一汽化器板，所述第一汽化器板包括：平坦的第一侧，与所述第一侧相反的平坦的第二侧，以及延伸通过所述第一汽化器板的一个或多个第一孔；由所述第一侧至少部分地界定的一个或多个第一通道；由所述第二侧至少部分地界定的一个或多个第二通道；第一入口区；以及第一出口区，其中：所述第一汽化器板插设在所述第一入口区与所述第一出口区之间，各第一通道横跨在所述第一孔之一与所述第一入口区之间，各第二通道横跨在所述第一孔之一与所述第一出口区之间，各第一孔流动地连接第一通道和第二通道，各第一通道与所述第一入口区流体地连接，并且各第二通道与所述第一出口区流体地连接，所述一个或多个第一孔在平行于所述第一侧的方向上偏离所述第一入口区和所述第一出口区。