[发明专利]一种等离子体注入处理截齿表面的工艺

摘要

本发明公开了一种等离子体注入处理截齿表面的工艺,包括以下步骤：a将待处理的截齿放入超声清洗剂中进行一次以上超声清洗；b将超声清洗处理后的截齿放入真空室；c释放脉冲偏压；d、将含有N₂、Ar和C₂H₂的混合气体通入真空室，释放脉冲偏压；e、真空室恢复常压、冷却；处理完毕。通过本发明工艺，可有效提高截齿表面的耐磨性能，使得截齿在行进过程中，磨损度降低，提高工作效率，延长使用时间。

主权项

一种等离子体注入处理截齿表面的工艺,其特征在于，包括以下步骤：a、将待处理的截齿放入超声清洗剂中进行一次以上超声清洗，每次清洗时为为15min～20min；b、将超声清洗处理后的截齿放入真空室，真空室内的真空度保持在1×10^‑2～2×10^‑2Pa；c、释放脉冲偏压，脉冲宽度为40～60μs,脉冲频率为100～300Hz，释放电压60～80kv,释放时间为60～100min；d、将含有N₂、Ar和C₂H₂的混合气体通入真空室，气压控制在2×10^‑2～9×10^‑2Pa，释放脉冲偏压，脉冲宽度为60～80μs,脉冲频率为200～300Hz，释放电压40～60kv,释放时间为50～100min；e、真空室恢复常压、冷却；处理完毕。