[发明专利]掩模板、滤光片的制作方法以及液晶显示面板有效
申请号: | 201510391469.7 | 申请日: | 2015-07-06 |
公开(公告)号: | CN106324888B | 公开(公告)日: | 2019-06-28 |
发明(设计)人: | 张莉;范刚洪;陈建良;唐文静 | 申请(专利权)人: | 上海仪电显示材料有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 高静;吴敏 |
地址: | 201108 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种掩模板、滤光片的制作方法以及液晶显示面板,本发明掩模板包括用于形成黑色矩阵中开口区的主图形,还包括位于所述主图形角部处的辅助图形,当采用所述掩模板对基板上的光阻材料层进行曝光时,所述辅助图形能够改善光在主图形边角处的衍射现象,使光阻材料层受光照射区域的形状与主图形的近似度更高,进而使实际形成的黑色矩阵中的开口区更接近掩模板中主图形的形状,能更好的与液晶显示装置中的阵列基板像素区的形状相匹配,防止开口区角部变形导致的漏光,并且提高液晶显示面板的开口率。 | ||
搜索关键词: | 掩模板 主图形 液晶显示面板 开口区 光阻材料层 辅助图形 黑色矩阵 滤光片 液晶显示装置 照射区域 阵列基板 边角处 对基板 角部处 近似度 开口率 像素区 角部 漏光 受光 衍射 制作 匹配 变形 曝光 | ||
【主权项】:
1.一种掩模板,用于形成滤色片中的黑色矩阵,其特征在于,包括:掩模板基板;位于所述掩模板基板上,用于形成黑色矩阵中开口区的主图形,所述主图形具有角部;位于所述主图形角部处的辅助图形,所述辅助图形用于改善曝光过程造成所述开口区的变形;其中,所述主图形为位于一透光区域中的第一遮光图形,所述第一遮光图形的形状为一角处具有矩形缺口的矩形,所述第一遮光图形具有五个直角内角角部,所述第一遮光图形在所述矩形缺口处具有一个直角外角角部;所述直角内角角部包括第一直角内角角部和第二直角内角角部,所述矩形缺口与第一直角内角角部和第二直角内角角部相邻;所述辅助图形包括:与所述矩形缺口的内角一边相接的第一直角三角形遮光区,所述第一直角三角形遮光区一直角边与所述矩形缺口内角一边相接,另一直角边与第一直角内角角部的一边在同一条直线上;与所述矩形缺口的内角另一边相接的第二直角三角形遮光区,所述第二直角三角形遮光区的一直角边与所述矩形缺口内角另一边相接,另一直角边与第二直角内角角部的一边在同一条直线上,第一直角三角形遮光区和第二直角三角形遮光区在所述矩形缺口内形成锐角缺口。
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