[发明专利]一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法

摘要

本发明公开了一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，包括以下步骤(1)切割基片，使基片成型；(2)镀前对基片进行超声波清洗；(3)电焊护目镜滤光片的膜层的镀制(4)检测环节采用晶振法监控。本发明镀膜方法将硫化锌、银这两种材料采用电子束蒸发方式制成的，电子束的优点是对膜料扫描功率高，膜层与基片的附着力好，通过采用上述工艺调整杜绝了镀膜过程中膜料造成的“溅点”和“膜料被击穿”等异常现象。

主权项

一种电焊护目镜滤光片的镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)切割基片，使基片成型；(2)镀前对基片进行超声波清洗；(3)电焊护目镜滤光片的膜层的镀制：使用的膜料为氧化铝、银和硫化锌，膜料的预熔为采用三个坩埚逐次预熔，镀膜方式采用电子束镀膜，镀制过程采用两种过程，首先是上述膜料的沉积过程，其次是等离子源的辅助轰击过程；(4)检测环节：采用晶振法监控；通过上述的过程制成成品滤光片；步骤(2)中的超声波清洗包括以下步骤：对一号清洗槽加入20L纯水与500g草酸，控制药液温度45℃±2℃，对三号清洗槽加入20L纯水与500g活性剂，控制药液温度45℃±2℃，对五号与六号槽各加入60L纯水与4升C15清洗剂，控制药液温度45℃±2℃；二号与四号清洗槽用常温纯水漂洗，八号、九号、十号、十一号清洗槽用50℃±2℃纯水漂洗；十二号纯水慢拉烘干槽，纯水温度60℃±2℃，十三、十四号槽热风烘干，温度65℃±2℃，十五号槽常温去离子烘干；将插好基片的清洗网放入一号清洗槽开始清洗，按照一号至六号、八号至十五号清洗槽的顺序依次清洗，清洗速度为每5分钟一个槽，直到最后一槽结束；超声波的功率为700W；频率值的设定为28KHZ～40KHZ。