[发明专利]一种低压力环境中测量真空容器容积比的方法

摘要

本发明公开了一种低压力环境中测量真空容器容积比的方法。使用本发明能够适用于低压力环境，且提高了测量结果的准确度。本发明首先建立的测量系统，利用非蒸散性吸气泵泵对惰性气体没有抽速的原理，对真空容积进行抽气，避免了气壁放气对测量精度的影响，并且本发明采用同一个真空计进行压力测量，避免了不同仪器读数偏差引入的测量不确定度，使测量小孔流导的不确定度大大的降低。

主权项

一种低压力环境中真空容器容积比的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1，建立测量系统；所述测量系统包括容器A(2)、容器B(5)、非蒸散性吸气泵(7)、真空泵(9)和气瓶(11)；其中，气瓶(11)通过微调阀(1)与容器A(2)连接，用于提供单一成分的惰性气体；容器A(2)和容器B(5)通过真空阀门A(4)连接；容器A(2)中设有真空计A(3)和真空计B(8)，其中，真空计A(3)的量程范围能到达10^‑5Pa以下，真空计B(8)的量程范围为10^‑2～～10^‑5Pa；非蒸散性吸气泵(7)通过真空阀门B(6)与容器B(5)连接；真空泵(9)通过真空阀门C(10)与容器B(5)连接；初始状态，所有真空阀门(4、6、10)和微调阀(1)处于关闭状态；步骤2，开启真空阀门A(4)、真空阀门C(10)，用真空泵(9)对容器A(2)、容器B(5)及其连接管道抽真空至本底压力，即10^‑5Pa以下；步骤3，关闭真空阀门C(10)，打开真空阀门B(6)，开启非蒸散性吸气泵(7)，待容器A(2)内的气体压力稳定后，采用真空计A(3)测量测量系统的本底压力p₀；步骤4，关闭真空阀门A(4)，开启微调阀(1)，以恒定压力向真空容器A(2)充入单一成分的惰性气体，当真空容器A(2)内的压力为10^‑2～10^‑5时，关闭微调阀(1)；步骤5，待真空容器A(2)内的压力平稳后，用真空计B(8)测量真空容器A(2)内的压力，记为起始压力p₁；步骤6，开启真空阀门A(4)，容器A(2)内的气体扩散至容器B(5)，待测量系统压力平稳后，用真空计B(8)测量真空容器A(2)内的压力，记为终止压力p₂；步骤7，容器A(2)的容积V₁与容器B(5)的容积V₂的容积比为：$\frac{V_1}{V_2}=\frac{p_1-p_0}{p_2-p_0}-1.$