[发明专利]检查装置

摘要

本发明提供检查装置，检查装置具备：移动部，其能够在检查基板的检查位置与装卸基板的装卸位置之间移动；按压部，其从处于检查位置的移动部的上侧下降至下降位置，将基板按压至移动部；定位部，其在按压部将基板按压至移动部时将移动部至少在其移动方向上相对于按压部定位；下降部，其在移动部处于检查位置的状态下相对于处于下降位置的按压部独立地从检查位置的上侧下降，并且下降部具有第1接触部，第1接触部与配置在基板的上表面上的第1被接触部电接触；以及上升部，其在移动部处于检查位置的状态下相对于处于下降位置的按压部独立地从检查位置的下侧上升，并且上升部具有第2接触部，第2接触部与配置在基板的下表面上的第2被接触部电接触。

主权项

1.一种检查装置，其中，所述检查装置具备：移动部，其能够在检查基板的检查位置与装卸该基板的装卸位置之间移动；按压部，其从处于该检查位置的该移动部的上侧下降至下降位置，将该基板按压至该移动部；定位部，其在该按压部将该基板按压至该移动部时将该移动部至少在该移动部的移动方向上相对于该按压部定位；下降部，其在所述移动部处于所述检查位置的状态下相对于处于所述下降位置的按压部独立地从所述检查位置的上侧下降，并且该下降部具有第1接触部，通过使该下降部下降，从而使该第1接触部与配置在所述基板的上表面上的第1被接触部电接触；以及上升部，其在所述移动部处于所述检查位置的状态下相对于处于所述下降位置的按压部独立地从所述检查位置的下侧上升，并且该上升部具有第2接触部，通过使该上升部上升，从而使该第2接触部与配置在所述基板的下表面上的第2被接触部电接触。