[发明专利]一种碱性CuCl2废蚀刻液脱铜再生方法有效

专利信息
申请号: 201510422268.9 申请日: 2015-07-17
公开(公告)号: CN105002500B 公开(公告)日: 2017-09-15
发明(设计)人: 王学文;王明玉;刘学辉 申请(专利权)人: 中南大学
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46;C22B7/00
代理公司: 长沙市融智专利事务所43114 代理人: 颜勇
地址: 410083 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 一种碱性蚀刻液脱铜再生方法,是将废碱性蚀刻液,先蒸发脱氨,再加酸酸化,或直接加酸酸化,然后再经冷却或冷冻,使其中的铜以氯化铜铵复盐结晶析出,过滤得氯化铜铵复盐晶体及其结晶后液,对得到的铜铵复盐进行分离得到铜,所得结晶后液加入氨水、氨气、盐酸、氯化铵中的至少一种作再生剂使其获得再生,返回蚀刻工序继续使用,从而使废碱性蚀刻液中的有效成分得到充分有效地利用,避免二次污染的产生,操作简便,环境友好,适合废碱性蚀刻液脱铜再生的工业应用。
搜索关键词: 一种 碱性 cucl sub 蚀刻 液脱铜 再生 方法
【主权项】:
一种碱性CuCl2废蚀刻液脱铜再生方法,包括以下步骤:步骤一:结晶脱铜将废蚀刻液的pH值调至≤7.5后,于‑25℃~35℃冷却或冷冻至少0.5h,使其中的铜以氯化铜铵复盐结晶析出,过滤得氯化铜铵复盐晶体及其结晶后液;所述废蚀刻液调pH值采用60‑120℃蒸发脱氨至pH≤7.5,或经60‑120℃蒸发脱氨后再加酸酸化至pH≤7.5;步骤二:铜分离回收将步骤一所得氯化铜铵复盐直接作产品出售,或重结晶后再作产品出售;或将步骤一所得氯化铜铵复盐加热分解,得氯化铜和氯化铵;或将步骤一所得氯化铜铵复盐按固/液比1:2‑10g/ml加水溶解,得到溶解液;将所得溶解液在槽电压1.8‑2.2V,电流密度100‑350A/m2的条件下直接电积生产阴极铜,电积后液用于配制蚀刻新液;或将所得溶解液采用溶剂萃取其中的铜,使之转化为铜盐溶液,萃余液则被转化为NH4Cl溶液或NH4Cl‑HCl混合溶液,所得萃余液直接用于配制蚀刻新液;或将萃余液加氨调pH至1‑5后,再浓缩结晶氯化铵,所得氯化铵用于配制蚀刻新液,或作产品出售;或将所得溶解液加入沉淀剂使其中的Cu沉淀析出,过滤得Cu的沉淀物及其沉淀后液。
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