[发明专利]一种蚀刻液循环再生工艺

摘要

本发明公开了一种蚀刻液循环再生工艺，该工艺包括步骤蚀刻、萃取、一道水洗、反萃、二道水洗、电积；本发明采用无损分离工艺回收铜，不破坏蚀刻液原有的组成成份，使蚀刻液得以完全回用，使蚀刻生产线成为废物零排放的清洁生产线；选用适于氨性蚀刻液的高效萃取剂，萃取过程平衡速度快、分离效果好、处理量大、成本低、操作易连续自动化且安全方便；工艺流程实现过程物料闭路循环，使蚀刻液得以回用的同时不产生新的污染源。

主权项

一种蚀刻液循环再生工艺，其特征在于：所述工艺包括以下步骤：A、蚀刻：通过蚀刻液实现蚀刻工艺，同时产生蚀刻废液；B、萃取：对蚀刻废液进行萃取处理，生成第一负载铜油相和第一水相，其中，第一负载铜油相的处理步骤跳步至步骤C，第一水相处理步骤跳步至步骤G；C、一道水洗：对第一负载铜油相进行一道水洗，形成第二水相和第二油相，其中第二水相处理步骤跳步至步骤E，第二油相处理步骤跳步至步骤D；D、反萃：对第二油相进行反萃处理，生成第三水相和第三油相，第三油相的下一步处理步骤跳步至E，第三水相的处理步骤跳步至步骤F；E、二道水洗：第二水相和第三油相进行二道水洗，形成第四油相和第四水相，第四水相经RO膜处理、PH调节，返回至步骤C中的一道水洗；所述第四油相返回至步骤B中进行萃取；F、电积：第三水相经电积后，形成O2排空、阴极铜以及电积后液，所述电积后液传送至步骤C中的第二油相中；G、所述第一水相经膜处理和组分调节形成再生蚀刻液，所述再生蚀刻液传送至步骤A中的蚀刻液中。