[发明专利]高洁净真空位移台在审
| 申请号： | 201510428821.X | 申请日： | 2015-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN105171701A | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 朱政豪;庞向阳;时双;郝艳飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B25H1/00 | 分类号： | B25H1/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯;张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空环境下高洁净度位移台。该装置由侧罩5、密闭条7、外罩8将滚珠丝杆10、滑动导轨12、滑块工作台13和滑座6组成密闭腔，以减少滑动导轨12、滚珠丝杆10上的真空润滑油脂产生挥发性有机污染物以及腔内由于运动产生的颗粒物的污染。腔内安装吸气剂11来吸附真空润滑脂产生的挥发性有机污染物。有机污染物分子在吸气剂表面分解，产生化学吸附，在一定温度下向吸气剂颗粒内部扩散，以防止有机污染物挥发产生的污染。吸气剂可加热激活从而长时间吸附有机污染物。本发明结构简单、具有高洁净、高效的特点，可广泛用于微电子、IT产品等领域的设备上、国防军工、航空航天、医药等其他领域的科研、实验仪器上，具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 洁净 真空 位移 | ||
【主权项】：
一种高洁净真空位移台，包括真空电机(1)、中间法兰(2)、电机安装板(3)、底座(4)、侧罩(5)、滑座(6)、密封条(7)、外罩(8)、端盖板(9)和滚珠丝杆(10)，所述的底座(4)、侧罩(5)、密封条(7)和外罩(8)形成密闭腔，其特征在于：在密闭腔内安装有吸气剂(11)。
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