[发明专利]刻蚀装置及其使用方法

摘要

本发明提供一种刻蚀装置，包括刻蚀腔室，所述刻蚀装置还包括设置在所述刻蚀腔室内的液滴去除组件，所述液滴去除组件用于去除附着在所述刻蚀腔室顶壁上的液滴。相应地，本发明还提供一种所述刻蚀装置的使用方法。本发明能够通过液滴去除组件去除刻蚀腔室顶壁上的液滴，减少液滴滴落在基板上而产生的刻蚀不均现象，从而改善了刻蚀效果。

主权项

1.一种刻蚀装置，包括刻蚀腔室，其特征在于，所述刻蚀装置还包括设置在所述刻蚀腔室内的液滴去除组件，所述液滴去除组件用于去除附着在所述刻蚀腔室顶壁上的液滴，所述刻蚀腔室的顶部形成有维护入口，所述刻蚀装置包括盖板，所述盖板覆盖在所述维护入口上，以形成为所述刻蚀腔室的顶壁的至少一部分，所述液滴去除组件设置在所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面上；所述液滴去除组件包括刷片，所述刷片能够在刻蚀开始前或刻蚀结束后沿所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面与所述盖板发生相对移动，以使得所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面上的液滴被刷落至所述刻蚀腔室内；所述液滴去除组件还包括至少一个传动机构，所述传动机构设置在所述盖板的朝向刻蚀腔室的表面上，所述传动机构包括主动轮、从动轮、套在所述主动轮和所述从动轮上的皮带，所述液滴去除组件还包括用于驱动所述主动轮转动的电机，所述刷片设置在所述皮带上，所述刷片的长度方向与所述皮带的延伸方向相交叉。