[发明专利]一种多晶硅引晶方法在审
| 申请号： | 201510446358.1 | 申请日： | 2015-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN105088337A | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 宋江;郭宽新 | 申请（专利权）人： | 奥特斯维能源（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 张海英;林波 |
| 地址： | 215434 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 发明公开了一种多晶硅引晶方法，包括以下步骤：(1)在引晶颗粒外包裹一层氮化硅涂层形成新的引晶颗粒；(2)把步骤(1)中形成的新的引晶颗粒均匀的铺设到坩埚底部；(3)把经过步骤(2)处理后的坩埚放入铸锭炉中，进行多晶硅的铸锭。本发明在原有多晶硅铸锭的基础上，通过把引晶颗粒的外表面包裹一层氮化硅涂层，大大的改善了引晶颗粒与坩埚底部接触易发生粘连的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅引晶 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅引晶方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）.在引晶颗粒外包裹一层氮化硅涂层形成新的引晶颗粒；（2）.把步骤（1）中形成的新的引晶颗粒均匀的铺设到坩埚底部；（3）.把经过步骤（2）处理后的坩埚放入铸锭炉中，进行多晶硅的生产。
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