[发明专利]一种化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法

摘要

本发明公开一种化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法，包括将分析纯的Sm(NO3)3·6H2O溶解于乙二醇甲醚溶剂中，配制成Sm3+浓度为0.1～0.5mol/L的溶液；待溶解完全后，向其中加入醋酸酐溶剂，室温下搅拌均匀形成透明均匀稳定的淡黄色溶液；滴加适量配制好的前驱液于基板表面，并打开匀胶机以旋涂镀膜至均匀；将匀胶后得到的湿膜放在烤胶板上烘干后放入小型快速退火炉内于200～500℃进行退火；退火完成后随炉冷却至室温，再重复旋涂退火工艺，直至Sm2O3薄膜达到所需厚度。该反应的原料易得且成本低，工艺设备简单，溶胶粒径均匀，能耗低，且该反应在常温常压下进行，安全性好，可行性强。

主权项

一种化学溶液沉积法制备Sm2O3薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将玻璃基片清洁干净备用；2)将分析纯的Sm(NO3)3·6H2O溶解于乙二醇甲醚溶剂中，配制成Sm3+浓度为0.1～0.5mol/L的溶液；待溶解完全后，向其中加入醋酸酐溶剂，室温下搅拌均匀形成透明均匀稳定的淡黄色溶液；3)将干净的玻璃基片置于匀胶机上，滴加适量配制好的前驱液于基板表面，并打开匀胶机以旋涂镀膜至均匀；4)将匀胶后得到的湿膜放在烤胶板上烘干后放入小型快速退火炉内于200～500℃进行退火；5)退火完成后随炉冷却至室温，再重复旋涂退火工艺，直至Sm2O3薄膜达到所需厚度；乙二醇甲醚与醋酸酐体积比控制在(3～4):1；退火时保温2～5h后随炉冷却至室温。