[发明专利]膜形成装置及膜形成方法

摘要

本发明提供一种无需进行膜形成后的基板表面的图像分析即可去除卫星液滴的膜形成装置。从与保持于载物台的基板对置的喷嘴头朝向基板吐出经液滴化的膜材料。移动机构使保持于载物台的基板和喷嘴头中的一个相对于另一个移动。存储装置存储待形成膜的图像数据及膜厚补正信息。控制装置根据图像数据控制喷嘴头及移动机构，由此在基板上形成膜。数据通过输入装置输入到控制装置。若从输入装置输入有膜厚指令值，则控制装置根据膜厚补正信息来补正膜厚指令值，由此计算比膜厚指令值厚的膜厚目标值，并且控制装置控制喷嘴头及移动机构以形成相当于膜厚目标值厚度的膜。

主权项

1.一种膜形成装置，其具有：载物台，用于保持基板；喷嘴头，与保持于所述载物台的所述基板对置，并朝向所述基板吐出经液滴化的膜材料；移动机构，使保持于所述载物台的所述基板和所述喷嘴头中的一个相对于另一个移动；其特征在于，还具有：存储装置，存储待形成膜的图像数据及膜厚补正信息；控制装置，根据所述图像数据控制所述喷嘴头及所述移动机构，由此在所述基板形成具有所述图像数据所定义的图案的膜；及输入装置，用于向所述控制装置输入数据，若从所述输入装置输入有膜厚指令值，则所述控制装置根据所述膜厚补正信息补正所述膜厚指令值，由此计算比所述膜厚指令值厚的膜厚目标值，并且所述控制装置控制所述喷嘴头及所述移动机构，以形成相当于所述膜厚目标值厚度的膜。