[发明专利]一种堵孔处理装置及处理方法在审
| 申请号： | 201510456839.0 | 申请日： | 2015-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN105177504A | 公开（公告）日： | 2015-12-23 |
| 发明（设计）人： | 张鑫狄 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 郝瑞刚 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀技术领域，具体涉及一种堵孔处理装置及处理方法。该堵孔处理装置包括疏通单元、支撑单元及驱动单元；所述疏通单元设置于支撑单元上，所述驱动单元用于驱动所述疏通单元绕所述支撑单元转动，以使所述疏通单元的一端插入至待处理坩埚的堵孔内，从而在不开腔的情况下完成自动疏通堵孔的目的，不会对正常蒸镀的制程造成影响；而且，该堵孔处理装置操作方便，缩短处理时间，有效地提高了堵孔的处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种堵孔处理装置，其特征在于，包括：疏通单元、支撑单元及驱动单元；所述疏通单元设置于支撑单元上，所述驱动单元用于驱动所述疏通单元绕所述支撑单元转动，以使所述疏通单元的一端插入至待处理坩埚的堵孔内。
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