[发明专利]一种小型真空蒸镀仪有效
| 申请号： | 201510457194.2 | 申请日： | 2015-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN105018884B | 公开（公告）日： | 2018-04-10 |
| 发明（设计）人： | 廖良生;武启飞;陈敏 | 申请（专利权）人： | 苏州方昇光电装备技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司32102 | 代理人： | 陆明耀,陈忠辉 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种小型真空蒸镀仪，包括设备整体机架，蒸镀腔室，真空系统，冷却系统，所述蒸镀腔室包括底部的蒸发区，及设置于蒸发区正上方的待加工蒸镀区，所述蒸发区包括置于蒸镀腔室底板上的蒸发电极、相邻的蒸发电极之间的电极隔板、及设置于蒸发电极内的有机蒸发坩埚；所述待加工蒸镀区由上至下依此包括样品盘、掩膜盘及蒸发挡板。本发明的小型真空热蒸发镀膜仪体积较小，简洁明了，功能齐全，性价比高，可实现大众化的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 小型 真空 蒸镀仪 | ||
【主权项】：
一种小型真空蒸镀仪，包括设备整体机架，蒸镀腔室，真空系统，冷却系统，其特征在于：所述蒸镀腔室包括底部的蒸发区，及设置于蒸发区正上方的待加工蒸镀区，所述蒸发区包括置于蒸镀腔室底板上的蒸发电极、相邻的蒸发电极之间的电极隔板、及设置于有机蒸发电极内的有机蒸发坩埚；所述待加工蒸镀区由上至下依此包括样品盘、掩膜盘及蒸发挡板；所述蒸发电极包括至少两个有机蒸发电极及一对金属蒸发电极，每个所述有机蒸发电极与一对金属蒸发电极通过电极隔板间隔，且在蒸镀腔室底板上围设成一圆周；所述样品盘上开设有用于安装蒸镀样片用的方形孔，所述掩膜盘上方固定有具有图案的掩膜板。
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