[发明专利]液体喷出装置的制造方法以及液体喷出装置

摘要

一种液体喷出装置的制造方法以及液体喷出装置。该装置具备压电致动器及流路形成部件，压电致动器具有振动膜，以覆盖压力室的方式设在流路形成部件；压电膜，与压力室对应地设在振动膜；第一电极，设在压电膜的振动膜侧的面；第二电极，设在压电膜的与振动膜相反一侧的面；第一保护膜，覆盖压电膜；布线，与第二电极连接；及第二保护膜，覆盖布线，该制造方法具有第一保护膜成膜步骤，第一保护膜以覆盖压电膜以及第二电极的方式形成在振动膜；布线形成步骤；第二保护膜成膜步骤，在由第一保护膜覆盖压电膜及第二电极的状态下，形成覆盖布线的第二保护膜；及第一除去步骤，在第二保护膜成膜步骤后，除去第一保护膜的与第二电极重叠的部分。

主权项

一种液体喷出装置的制造方法，该液体喷出装置具备压电致动器和形成有与喷嘴连通的压力室的流路形成部件，该压电致动器具有：以覆盖上述压力室的方式设置在上述流路形成部件的振动膜；与上述压力室对应地配置在上述振动膜的压电膜；配置在上述压电膜的上述振动膜侧的面的第一电极；配置在上述压电膜的与上述振动膜相反一侧的面的第二电极；覆盖上述压电膜的第一保护膜；与上述第二电极连接的布线；以及覆盖上述布线的第二保护膜，其中，上述液体喷出装置的制造方法具有以下步骤：第一保护膜成膜步骤，在上述振动膜上以覆盖上述压电膜以及上述第二电极的方式形成上述第一保护膜；布线形成步骤，形成上述布线；第二保护膜成膜步骤，在由上述第一保护膜覆盖上述压电膜以及上述第二电极的状态下，形成覆盖上述布线的上述第二保护膜；以及第一除去步骤，在上述第二保护膜成膜步骤之后，除去上述第一保护膜的与上述第二电极重叠的部分，使上述第二电极从上述第一保护膜暴露。